| 姓名： | 张玉林 | |
| 性别： | 男 | |
| 民族： | 汉族 | |
| 出生年月： | 1947.1 | |
| 学历： | 大学本科 | |
| 职称： | 教授 | |
| 导师信息： | 博士生导师 | |
| 职务： | 电子束研究所所长 | |
| 党派： | 共产党 | |
| 电话： | 0531-88392827 | |
| 传真： | 0531-88392205 | |
| 学科一： | 控制理论与控制工程 | |
| 邮箱： | ylzhang#sdu.edu.cn | |
| 所在院系： | 山东大学控制科学与工程学院 | |
| 研究方向： | 计算机控制技术，微米、纳米加工及控制技术，微机电系统加工控制技术，生物芯片加工新技术 | |
| 通信地址： | 济南市经十路17923号 山东大学南校区控制科学与工程学院 | |
| 93年9月开始享受国务院政府特殊津贴 全国三束学会学术委员 山东省单片机协会副理事长 | ||
| 主要学习与工作经历 1965.9 -1970. 7 山东大学数学系 学生 1970.7- 1971.11 四八零七部队学生连 煅练 1971.11-2000. 7 山东工业大学自动化系 教师 2000. 7-山东大学控制科学与工程学院 教师 专利及获奖情况 1、78年 SDS—1 型电子束曝光机研制全国首届科学大会奖 集体奖 主持人之一 2、79年 SDS—1 型电子束曝光机山东省首届科学大会奖 集体奖 主持人之一 3、79年 双光路激光精密定位系统 山东省科技进步二等奖 集体奖 主持人之一 4、82年 多功能电子束曝光图形控制器 山东省科技进步二等奖 第1位 5、92年 IC插座自动组装机 山东省计算机应用优秀科技成果 三等奖 第1位 6、93年 集成电路插座自动生产线 山东省科技进步三等奖 第1位 7、94年 智能高频新电检测仪 山东省发明二等奖第2位 8、96年 一种智能电度表 专利号 ZL96228246.4第1发明人 近年来完成的研究项目 1、电子束曝光工艺研究 国防科工委 第1位 2、抽油机井综合测试计算机 企业委托91年完成第1位 3、集成电路插座自动生产线 企业委托93年完成第1位 4、智能高频新电检测仪94年完成第2位 5、汉字示屏研制 企业委托95年完成第1位 6、一种智能电度表96年完成 第1位 7、电阻率分析系统及熔铝质量快速检测 山东省科技计划98年完成 第1位 8、电子束曝光机图形控制器研制 中科院电工所99年完成 第1位 9、柴油及状态检测仪研制 校产业2001年完成第1位 10、鲁宁输油管线先进控制方案设计企业委托2002年完成 第1位 目前承担的研究项目 1、2004.1-2006.12 电子束光刻生成三维结构的研究国家自然科学基金 经费28万 第1负责人 2、2003.1-2005.12《电子束曝光机灰度掩模的研究》 山东省科技攻关 经费5万第1负责人 3、2004.1-2006.12 基于电子束光刻生成三维结构的研究山东省自然科学基金 经费4万第1负责人 4、2003.6-2005.6热电厂脱硫控制系统企业委托 经费110万第1负责人 5、2003.6-2004.6纳米电子束曝光机图形控制器的研制中科院电工所 经费12万 第1负责人 6、2002.1-2004.12 压电超声电机的研究山东省自然科学基金 经费3万第3 7、2004.1-2006.12 电子束光刻三维加工方法研究省教委计划 经费3万第2 8、2004.6-2005.12 智能脉诊仪研制企业委托 经费30万 第2 主要论著 在《电子学报》、《微细加工技术》、《微纳电子技术》、《仪器仪表学报》、《传感器技术》等刊物及国际、全国性学术会议上发表学术论文50余篇，其中被EI收录十余篇。理论成果获省级等奖二等一项，三等奖二项。 主讲研究生课程 硕士研究生专业选修课：计算机接口技术 硕士研究生专业选修课：微机电系统 | ||
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